无氧烘箱工艺方面有什么要求？

06/24

2022

　　无氧烘箱也称无尘工业烘箱、洁净工业烘箱，是一种通过高温、低氧、洁净技术环境的特殊洁净无尘烘干处理设备。烘箱进行内部为不锈钢结构，全部可以采用无尘材料，箱内可充氮、真空，使烘箱工作以及室内设计处于低氧、洁净系统状态;箱内空气相对封闭自循环，经耐高温高效发展空气过滤器(100级)反复过滤，使烘箱工作对于室内空间处于无尘状态。工作作为室内温度由温控仪自动管理控制，并有一个自动恒温及时间成本控制生产装置，并附设有超温自动停电及报警模块电路，控制提供可靠，使用网络安全。

　　无氧烘箱的使用方法：

　　无氧烘箱应用举例:：在半导体芯片加工的过程中，随着频率速率等微电子加工领域以及高速通信等频率和速度的提高，对芯片尺寸、寄生效应参数、可靠性和绝缘性的要求越来越高，需要一种新型材料来满足芯片加工的要求。而 bcb(苯并环丁烯)是满足各种性能良好的材料要求的光敏抗蚀剂，具有低介电常数的特性。然而bcb 胶粘剂的固化过程非常重要。

无氧烘箱

　　无氧烘箱的工艺要求：

　　1.在外延片表面涂覆光敏BCB胶，通过光刻在外延片表面形成光敏BCB胶图形;

　　2.采用不同等离子体反应进行刻蚀技术处理外延片表面的光敏BCB胶;

　　3.蚀刻的外延片进入真空氧炉，进入N2真空置换，采用多级加热绝缘的方式，在从室温到第一温度阶段的规定时间，在温度段1-2h，然后在从第一温度到第二温度阶段的规定时间，并在温度段一定时间;

　　4.然后增加辅助冷却系统(水冷和风冷)，使退火炉温度降低到80度左右，完成固化。

　　无氧烘箱用于pi胶、bcb胶固化、粘结材料预处理、ito膜退火、pr胶排硫化等特殊工艺。适用于lcd，lcd，cmos，ic，pcb，半导体封装，制药，实验室及其他生产和研究部门。

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